❶ 微納技術是針對製造與處理那些大小處於微米到什麼級別物體的一種高新技術
微納技術是一種先進技術，專門用於製造和處理尺寸介於微米到納米級別的物體。這種技術通過精確控制，能夠在微米級別上加工物體，特別是對於極其微小的部件。微納米技術，通常縮寫為MEMS和納米技術，自20世紀80年代末在美國、日本等發達國家興起以來，一直是高科技創新的前沿領域。這一領域因其廣闊的應用前景而受到全球政府和學術界的廣泛關注。
微機電系統（MEMS）技術專注於研究、開發尺寸在0.1μm到數毫米范圍內的感測器、微執行器和微系統。這一技術以單晶硅為主要材料，並依賴於光刻和其他特殊加工技術，這些技術通常與微電子工藝設備結合使用。
納米技術涉及的尺度一般在1到100納米之間，它研究的是在這個尺寸范圍內的原子、分子以及物質的性質和行為。而在這個尺度上對物質進行操作和加工的技術，即納米技術，它允許科學家和工程師在納米級別上進行設計和製造。納米尺度的機電系統則被稱作納機電系統。