❶ 微纳技术是针对制造与处理那些大小处于微米到什么级别物体的一种高新技术
微纳技术是一种先进技术，专门用于制造和处理尺寸介于微米到纳米级别的物体。这种技术通过精确控制，能够在微米级别上加工物体，特别是对于极其微小的部件。微纳米技术，通常缩写为MEMS和纳米技术，自20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起以来，一直是高科技创新的前沿领域。这一领域因其广阔的应用前景而受到全球政府和学术界的广泛关注。
微机电系统（MEMS）技术专注于研究、开发尺寸在0.1μm到数毫米范围内的传感器、微执行器和微系统。这一技术以单晶硅为主要材料，并依赖于光刻和其他特殊加工技术，这些技术通常与微电子工艺设备结合使用。
纳米技术涉及的尺度一般在1到100纳米之间，它研究的是在这个尺寸范围内的原子、分子以及物质的性质和行为。而在这个尺度上对物质进行操作和加工的技术，即纳米技术，它允许科学家和工程师在纳米级别上进行设计和制造。纳米尺度的机电系统则被称作纳机电系统。